在半導體材料和器件的研究和生產(chǎn)中經(jīng)常要使用各種具劇毒高毒及易燃，易爆特性的氣體，其中最典型的即為確烷和磷烷這兩種氣體常用作一族半導體外延材料的生長源在氣相外延(PE),金屬有機物氣相外延(IOVPE)I氣態(tài)源分子束外延(GSMBE)及化學隸外延(CBE)等中提到廣泛應用,在其它一些平導體工藝如離子注人，擴散。多品及非品硅沉積等中也常用作摻雜劑。
由于這兩種氣體均為劇毒，燃氣體,磷烷遇空氣還能自燃，因此在實際工作中無論是從影響人體健康的環(huán)保因素考慮，還是從保證安定的角度考慮，都必須對工作空間中這些氣體的環(huán)境濃度進行有效的實時監(jiān)測，并具備可靠的泄漏安全報警裝置砷烷和磷烷的環(huán)境允許濃度甚低,分別僅為 5ppb~3o0ppb,在幾個ppm的濃度下即會產(chǎn)生急性中毒癥狀,
巡檢機器人"基于OCR和圖像識別能力，能模擬專業(yè)的人工操作，在全站多級頁面與資金交易全流程的各個場景進行點擊、識別、檢查等巡檢操作，搭配深國安在線磷烷砷烷二合一氣體檢測儀，能有效的提高巡檢的速度跟人員的安全保障，

在線磷烷砷烷二合一氣體檢測儀特點:
1，用深國安典型的家族式盾形外觀設計，配備工業(yè)級鋁合金防護外殼，堅固耐用2，2.4英寸超大屏幕，顯示目標氣體、濃度、單位、指示燈工作狀態(tài)等各項參數(shù);
中英文、繁體，操作界面，適合所有人群，強大聲光報警功能，三級報警點自由設置，當氣體濃度超標時，自3.
發(fā)出85dB以上的報警聲響。
同時支持一鍵消音;4，
5，強大的數(shù)據(jù)存儲功能，客戶可通過有線或無線連接，將數(shù)據(jù)打印或導出;國外進口芯片，精度高、穩(wěn)定性強誤差率低;
6，多種信號傳輸，兼容90%以上廠家的氣體報警控制器、PLC、DCS、DDC等上位機系統(tǒng)，全量程溫濕度補償，32位納米級微處理器+24位超高ADC采集芯片，確保產(chǎn)品在運行過程的數(shù)據(jù)穩(wěn)定;